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盡管尺寸較小，但在測量精度方面毫不遜色。MICURA配備蔡司VAST XT gold掃描探頭與navigator技術。
工業生產中的零部件日趨小型化，同時對測量精度的要求也在不斷提高，蔡司MICURA正是針對這一全新需求定制的解決方案。
工業生產中的零部件日趨小型化，同時對測量精度的要求也在不斷提高，MICURA正是針對這一全新需求定制的解決方案。MICURA采用蔡司VAST XT gold掃描探頭與navigator技術, 可在主動式掃描時獲得微米級的測量精度。它尤其適于測量用于光學和電子產品的結構復雜的小型工件。盡管采用緊湊型設計，系統卻具備500 x 500 x 500毫米的測量能力——性能遠超同類產品。
蔡司VAST XT gold探頭具有高速掃描功能，除可在極短時間測定幾何特征外，還可精準測量及評定形狀誤差如圓度、平面度等特性。探針最小直徑僅為0.3毫米。
蔡司MICURA采用VAST navigator技術。該技術可在確保測量精度的前提下自動調節理想的測量速度，從而顯著縮短測量時間。在測量精度要求較高的區域，蔡司MICURA的移動速度放緩。當輪廓簡單或精度需求較低時，移動的速度更快。
VAST navigator技術還通過切線逼近掃描、螺旋掃描和測針快速動態校準等功能進一步縮短測量時間。
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